利用活性炭多微孔的吸附特性吸附有機廢氣是一種最有效的工業處理手段。蜂窩狀活性炭具有比表面積大、性能穩定、抗腐蝕和耐高速氣流沖擊、可重復性使用等優點，用其對有機廢氣進行吸附可使凈化效率高達90-95%，活性炭吸附飽和后可用熱空氣脫附再生。再生后活性炭重新投入使用，通過控制脫附過程流量可將有機廢氣濃度濃縮10-20倍，脫附氣流經催化床的燃燒機裝置加熱至300℃左右，在催化劑作用下起燃，催化燃燒過程凈化效率可達90%以上，燃燒后生成CO2和H2O并釋放出大量熱量，該熱量通過催化燃燒床內的熱交換器一部分再用來加熱脫附出的高濃度廢氣，另外一部分加熱室外來的空氣做活性炭脫附氣體使用，一般達到脫附催化燃燒自平衡過程須啟動燃燒器1小時左右。達到熱平衡后可關閉電加熱裝置，這時再生處理系統靠廢氣中的有機溶劑做燃料，在無須外加能源基礎上使再生過程達到自平衡循環，極大地減少能耗，并且無二次污染的產生，整套吸附和催化燃燒過程由PLC實現自動控制。

催化燃燒（RCO）所發生的氣固相催化反應的實質是活性氧參與的深度氧化作用。在催化燃燒過程中，催化劑的作用是降低活化能，同時催化劑表面具有吸附作用，使得反應物富集于表面。借助催化劑的作用使得廢氣在較低的起燃溫度條件下，發生無焰燃燒，并氧化分解為CO2和H2O，同時放出大量的熱能，從而達到去除廢氣中有害物質的目的。在催化劑的作用下，使有機廢氣中的碳氫化合物在溫度較低的條件下迅速氧化成水和二氧化碳，達到治理的目的。

催化燃燒法處理工業揮發性有機物（VOCs）（指參與大氣光化學反應的有機化合物，包括非甲烷烴類（烷烴、烯烴、炔烴、芳香烴等）、含氧有機物（醛、酮、醇、醚等）、含氯有機物、含氮有機物、含硫有機物等，是形成臭氧（O3）和細顆粒物（PM 2.5 ）污染的重要前體物，對氣候變化也有影響。）是現代工業作業中處理廢氣最高效的方法之一。從1949年美國研制出上第一套催化燃燒裝置到現在，這項技術已廣泛地應用于油漆、橡膠加工、塑料加工、樹脂加工、皮革加工、食品業和鑄造業等部門，也用于汽車廢氣凈化等方面。